안녕하세요, 다인큐브입니다.
다인큐브가 지난 7월 2일 진행된 ‘제15회 ETG Member Meeting Korea’에 참가하여 ‘Pulse의 한계를 넘어, EtherCAT으로: 반도체 공정 모션제어 EtherCAT 적용 사례’를 주제로 성공적으로 발표를 마쳤습니다.
이번 세미나에서 다인큐브 영업본부는 기존 Pulse(펄스열 지령) 방식 모션제어가 가진 구조적 한계(배선 폭증, 피드백 부재, 노이즈 취약 등)를 짚어보고, 이를 고성능 EtherCAT 네트워크로 전환하여 거둔 정량적 성과와 반도체 특화 기술 솔루션을 소개하였습니다.
[주요 발표 내용 요약]
- EtherCAT 도입을 통한 성능 향상
- 100μs 수준의 Sync 주기 및 나노초급 다축 동기 제어 구현
- 초기 설비 세팅 및 티칭 시간 약 70% 단축
- 진단 및 복구 시간(MTTR) 단축 및 운영 효율 증대
- 반도체 이송로봇 특화 솔루션 ‘core™’
- 복잡한 기구학 계산을 우회하고 Get, Put, Exchange 3대 핵심 명령어로 로봇 핸들링 단순화
- 웨이퍼 자동 맵핑 (Auto Mapping) & 실시간 중심 정렬 (AWC)
- Auto Mapping: EtherCAT TouchProbe(하드웨어 래치) 기반 고속 스캔으로 슬롯 적재 이상(Double, Cross, Missing) 즉시 검출
- AWC: 로봇 이송 중(On-the-fly) 4점 터치프로브로 편심을 정밀 보정하여 별도 얼라이너 없이 파티클 감소 및 수율·택타임 개선
다인큐브의 EtherCAT 제어 솔루션은 이미 국내 주요 반도체 양산라인(Track System, PI Coater 등)에 적용되어 고속·고정밀 웨이퍼 반송 성능과 가동률을 검증받았습니다.
앞으로도 다인큐브는 고객사의 생산 수율 극대화와 개발 리스크 최소화를 위한 최적의 EtherCAT 파트너로서 지속적인 기술 혁신과 현장 지원을 약속드립니다.
감사합니다.
[문의 및 기술검증 신청]
- PoC 데모 및 무상 기술검증(PoC) 문의는 다인큐브 영업본부로 연락 주시기 바랍니다.
