반도체 제조 혁신의 열쇠: 초정밀 로봇 제어의 새로운 패러다임
최첨단 반도체 제조 공정의 고도화에 따라 로봇 제어 시스템에는 그 어느 때보다 높은 수준의 정밀도, 속도, 안정성이 요구되고 있습니다. 웨이퍼 이송 과정은 수율 확보의 핵심으로, 기존의 제어 시스템이 가진 복잡한 초기 세팅과 티칭 과정, 긴 개발 시간, 에러 발생 시의 낮은 복구 효율 등은 생산성 향상의 중대한 장애물이었습니다.
이러한 시장의 기술적 전환 요구에 대응하여, 다인큐브는 반도체 장비 제어에 최적화된 고도화 통합 플랫폼, coreTM을 선보입니다. coreTM은 웨이퍼 이송 로봇(WTR, CRA 등)을 중심으로 정밀 제어, 자동 티칭, 에러 복구 기능을 통합하여 공정 효율을 획기적으로 개선합니다.
개발 복잡도를 해소하는 반도체 전용 명령 구조, coreTM
coreTM 플랫폼은 반도체 로봇의 실제 동작 로직을 그대로 반영한 고수준 API 명령 세트를 제공함으로써, 장비 개발의 복잡도를 효과적으로 낮춥니다. 엔지니어는 저수준(Low-Level)의 좌표 제어 대신, 직관적이고 구조화된 모션 명령어를 통해 신속하게 시퀀스를 구현할 수 있습니다.
특히 Get/Put/Exchange/MAP/AWC 등의 구조화된 모션 명령어를 제공하며, Station(장비 위치)·Slot(웨이퍼 칸)·Fork(로봇 암)과 같은 표준화된 파라미터 형식을 사용하여 모든 로봇 동작을 정밀하고 일관성 있게 관리합니다. 이러한 전용 API 및 제어 명령 세트는 개발 시간을 단축하고 유지보수의 효율성을 극대화하는 핵심 요소입니다.
■ 정밀도와 효율을 극대화하는 coreTM의 3대 핵심 제어 기능
coreTM은 반도체 공정의 핵심 요구 사항을 충족하는 독보적인 기능을 통합하여 제공함으로써 로봇 제어의 새로운 기준을 제시합니다.
Easy Teaching Function으로 셋업 시간 혁신
Easy Teaching Function으로 복잡했던 장비 셋업 과정을 단순화하여 티칭 시간을 효과적으로 줄이고, 오퍼레이터에 의한 편차를 최소화합니다.
- Start-End Teaching: 첫 Slot과 마지막 Slot만 티칭하면 나머지 Slot 위치를 자동으로 보간하여 설정합니다.
- Offset Teaching: 일정한 간격의 위치를 자동 계산하여 정밀한 위치 설정을 지원합니다.
- Auto Mapping: Touch Probe 기능을 활용하여 Slot별 위치, Wafer 유무, 이상 상태를 자동으로 인식하고 보정합니다.
■ AWC (Auto Wafer Centering) 및 최적화된 모션 제어
AWC (Auto Wafer Centering) 기능은 로봇과 Wafer 간의 정렬 오차를 자동으로 보정해 공정 정밀도 안정적으로 유지하는데 기여합니다. 또한, coreTM은 공정 특성에 따라 다양한 모션 프로파일을 제공하고, 검증을 통해 최적의 프로파일을 적용함으로써 로봇 동작 시 진동을 최소화하고, 고속 운전 중에도 안정적인 성능을 유지하며 Cycle Time을 단축을 지원합니다. 뿐만 아니라, 구조체 기반 변수 관리를 통해 각 Slot, Axis, Fork의 동작을 정밀하고 일관성 있게 제어할 수 있습니다.
데이터 인텔리전스를 통한 운영 안정성 확보 및 광범위한 적용
■ 데이터 기반의 지능형 에러 복구 시스템
coreTM의 지능형 제어는 로봇 동작 중 Slot, Station, Fork 정보를 실시간으로 기록하는 데이터 인텔리전스를 활용하며, 에러가 발생하더라도 기록된 해당 데이터를 기반으로 정확하고 신속한 복구 동작을 수행할 수 있습니다. 이러한 기능은 장비의 다운타임을 최소화하고 높은 운영 안정성을 확보하는 데 중요한 역할을 합니다.
■ 광범위한 적용 분야 및 확장성
coreTM은 반도체 및 디스플레이 제조 라인 전반에 걸쳐 폭넓게 활용되는 검증된 플랫폼입니다. EFEM 및 진공 로봇을 제어하는 WTR(Wafer Transfer Robot)부터 웨이퍼 이송과 정렬을 수행하는 CRA(Cassette Robotics Arm), 테스트 공정에 사용되는 Probe Card Handler, 그리고 대형 글라스 패널을 다루는 Display Handling Robot까지 폭넓게 적용되어 통합 제어를 실현합니다.
coreTM이 선도하는 반도체 로봇 제어의 미래
다인큐브의 coreTM은 반도체 제조사가 요구하는 개발 효율, 운영 안정성, 공정 효율 극대화를 실현하는 통합 가치 솔루션입니다. 특히, 자동 티칭, Auto Mapping, 실시간 오류 복구 기능은 사용자가 로봇 동작을 손쉽게 구성하고 유지보수할 수 있도록 돕습니다.
이처럼 coreTM을 통해 다인큐브는 반도체 로봇 제어 기술의 새로운 표준을 제시하고 있으며, 고도화된 제조 환경에서 고객사의 경쟁력 확보를 지원하는 파트너로 자리매김하고 있습니다.
